高精度XYステージ（セラミックス製）

• 高純度アルミナセラミックス製エアースライダーガイドを採用。
• 真直度精度：1μm以下を実現。
• 姿勢精度：2秒以下の高精度を実現。
• 最長3500stまで可能
• 再現性0.2μm以内可能

• 液晶パネル検査装置（G4.5,G5,G8）
• XYテーブル
• 位置決め装置
• 画像処理検査
• FPD検査装置
• 光導波路位置決め装置
• ウエハー検査
• ウエハー加工
• レーザー加工
• 精密組立装置
• 精密加工装置
• 液晶パネル製造工程装置
• 半導体製造工程装置

• 検査成績表添付