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ファインセラミックスにはさまざまな材質がありそれぞれ特徴があります。
お客様の用途や課題に合わせ、素材の選定からご提案いたします。
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素材 | 詳細 | |
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アルミナ(Al2O3) | <<詳細>> 最も広く利用されているセラミックスです。硬度、剛性、耐磨耗性、耐プラズマ性、耐熱性、電気絶縁性が高く、熱膨張率が小さい。液晶・有機EL・半導体製造装置、電池・電子関連、各種工作機械・精密機器など、あらゆる分野で採用されています。 [[ 用途例 ]] 半導体製造装置部品 粉砕機部品 一般産業用部品 高精度用、精密用、耐熱用治工具 耐摩耗部品 電気絶縁部品 |
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チタン酸アルミニウム(Al2TiO5) | <<詳細>> 耐熱衝撃性に優れるため、温度変化に強く1200℃からの水冷にも耐えうる素材です。1000℃超での連続使用も可能な素材です。 [[ 用途例 ]] アルミ溶湯保持炉など 熱処理用治具 焼成治具 断熱材 保温材 [[ チタン酸アルミニウム試験動画 ]] アルミナとチタン酸アルミニウムの熱衝撃比較試験動画です。 |
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ジルコニア(ZrO2) | <<詳細>> ファインセラミックスの中でも強度と靭性をもったセラミックスです。一般的な工法では実現困難な複雑形状品の製作検討も行いますのでご相談ください。 [[ 用途例 ]] 耐摩耗部品 摺動部品 燃料電池の発電材料や酸素センサー用材料 |
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ムライト(Al6O13Si2) | <<詳細>> 熱衝撃性、耐熱性、耐食性が高いセラミックスです。 [[ 用途例 ]] ダイス 遮熱部品 高温搬送用ベルト |
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炭化ケイ素(SiC) | <<詳細>> 非常に硬いセラミックスです。 高温域(1000℃以上)での機械強度の低下が小さく、耐摩耗性・耐食性の高い材料です。 [[ 用途例 ]] 摺動部品(シール、ポンプ軸受け、シャフト) 粉砕機部品(分級機、気流式粉砕機、ビーズミル) 半導体製造装置部品(XYステージ、ウェハーチャック) 耐熱部品(バーナーノズル、高温試験機部品、金属溶融用坩堝) 耐摩耗部品(ブラストノズル、ショットブラスト用部品、釣具糸道) |
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窒化ケイ素(Si3N4) | <<詳細>> 耐熱衝撃性に優れ、高温下でも高い強度を有するセラミックスです。小さい熱膨張係数、高い靭性、優れた耐摩耗性も特徴としております。当社は、窒化ケイ素の分野で世界トップクラスの製造技術を持つドイツのFCT社と提携し、窒化ケイ素製品を供給しています。 [[ 用途例 ]] 鋳造部品 ダイカスト機部品 溶接機部品 粉砕機部品(分級機、気流式粉砕機、ビーズミル) 耐摩耗部品(ガイドローラー、シャフト、軸受け) 半導体製造装置部品(ステージ部品、リニアモータ) |
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コージライト | <<詳細>> セラミックスの中で最も熱膨張率が低い白色のセラミックスです。 絶縁部品、半導体製造装置部品などに用いられており、大型部品にも対応可能です。 [[ 用途例 ]] 多孔質材料 耐熱衝撃部品 熱交換器や耐火物等 |
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窒化ホウ素(BN) | <<詳細>> 六方晶窒化ホウ素(h-BN)は不活性雰囲気下では抜群の耐熱性があり、熱衝撃にも強く、高温での絶縁性にも優れています。 溶融金属・溶融ガラスとも反応しにくい材料です。 [[ 用途例 ]] セラミック焼成用治具 半導体製造装置の各種部品 金属溶解、ガラス離型・耐食材料 高温炉の絶縁部材 |
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窒化アルミ(AlN) | <<詳細>> ・熱伝導率が高く、Siに近い熱膨張係数を持つので、パワー半導体の整流基盤としてよく利用されます。 [[ 用途例 ]] 高温下で高い熱伝導が必要な部品 ヒーター部材 放熱基盤 プラズマ雰囲気下の部品 |
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マシナブル | <<詳細>> 一般的なセラミックスに比べて機械的強度は劣りますが、快削性の良い素材の為、加工コストは安価になり、納期も短くなります。 [[ 用途例 ]] 半導体関連装置部品 熱処理冶具 断熱部品 真空装置部品 |
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サイアロン | <<詳細>> 窒化ケイ素をベースに合成したセラミックスで、チッ化珪素よりも耐熱性、高温環境下での機械的強度、耐熱衝撃性、耐摩耗性に優れています。 [[ 用途例 ]] アルミ坩堝 熱間ガイド ローラー 位置決めピン 電気溶接の溶接抵抗材 溶接治具 |
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ジルアル(ZrO2-Al2O3) | <<詳細>> ジルコニアにアルミナを均一に分散し強化したもの。 ジルコニアにアルミナを添加し、緻密に焼結させた強化ジルコニアです。従来のジルコニアに比べて、耐機械的強度、破壊靭性が高く、特に耐衝撃部材、耐摩耗部材の用途に向いています。 [[ 用途例 ]] 耐衝撃部材 耐磨耗部材 |
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低誘電損失アルミナ(Al2O3) | <<詳細>> アルミナの誘電損失を低く安定化させた材料 [[ 用途例 ]] 高周波用基板材料 アンテナ材料 RF窓 半導体製造装置用材料 |
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