• 商品情報
  • 企業情報
  • 採用情報
  • 新東グループ
  • アクセスマップ
  • お問合わせ

HOME > 商品情報 > 商品ラインナップ > 高精度XYステージ

高精度XYステージ(セラミックス製)

液晶パネルや有機ELパネルなどの検査装置の位置決めステージに使用可能な高精度のXYステージ

高精度XYステージ

特長

  • 高純度アルミナセラミックス製エアースライダーガイドを採用。
  • 真直度精度:1μm以下を実現。
  • 姿勢精度:2秒以下の高精度を実現。
  • 最長3500stまで可能
  • 再現性0.2μm以内可能

用途事例

  • 液晶パネル検査装置(G4.5,G5,G8)
  • XYテーブル
  • 位置決め装置
  • 画像処理検査
  • FPD検査装置
  • 光導波路位置決め装置
  • ウエハー検査
  • ウエハー加工
  • レーザー加工
  • 精密組立装置
  • 精密加工装置
  • 液晶パネル製造工程装置
  • 半導体製造工程装置

付属品

  • 検査成績表添付

お客様のご要望に合わせたサイズも承ります。納期等を含めお気軽にご相談ください。

0533-85-9190 0533-85-5104

このページのトップへ