超精密セラミックス製XYステージ
XYステージとは、主に精密機器や実験装置において使用される、二次元の移動を可能にする機構のことを指します。X軸とY軸の2つの方向に移動できるため、対象物を正確に位置決めすることができます。XYステージは、微細な動きが可能であり、ナノメートル単位の精度で位置決めができます。これにより、精密な実験や加工が可能です
特長
品質管理体制を確立
セラミックスは、成形－加工－精密仕上加工－精密組立まで社内で一貫生産。
超精密加工かつ高い耐久性
精密仕上げ加工は、3mで数ミクロン以下の真直度が可能。
姿勢精度：2秒以下の高精度を実現。
エアースライド面がセラミックスのため傷がつかない。
クリーンルームで使用可能
駆動部は非接触のためクリーンルーム内での使用が可能
高剛性、エアー消費量低減
独自開発の特殊な軸受を使用するため、高剛性でエアー消費量は少ない
高い拡張性
精密位置決めの駆動系を組み込むことも可能
XYステージ＋駆動系＋（検査・計測機器または加工機）の対応も可能
用途事例
- 液晶パネル検査装置（G4.5,G5,G8）
- XYテーブル
- 位置決め装置
- 画像処理検査
- FPD検査装置
- 光導波路位置決め装置
- ウエハー検査
- ウエハー加工
- レーザー加工
- 精密組立装置
- 精密加工装置
- 液晶パネル製造工程装置
- 半導体製造工程装置
セラミックス製エアスライダー
長尺の高剛性精密セラミックス製エアスライダーで長いストロークの高精度測定を実現。
特長
超高精度を実現
三次元測定器では測定が困難な真直度3μm以下が測定可能。
ストローク2400mmで2μm以下の真直度精度を実現
再現性0.2μm以内可能
多彩なラインナップ
可搬式タイプと定置式タイプがあります。
最長3500stまで可能
用途
- 金型等の精密研磨後の平坦度測定
- マシニングセンタ、平面研削盤の加工精度測定
- 精密定盤の平面度測定
- ラップ盤等の平面形状測定
付属品
- 検査成績表添付