炭化ケイ素（SiC）
特長
非常に硬いセラミックスです。 高温域（1000℃以上）での機械強度の低下が小さく、耐摩耗性・耐食性の高い材料です。
用途例
- 摺動部品（シール、ポンプ軸受け、シャフト）
- 粉砕機部品（分級機、気流式粉砕機、ビーズミル）
- 半導体製造装置部品（XYステージ、ウェハーチャック）
- 耐熱部品（バーナーノズル、高温試験機部品、金属溶融用坩堝）
- 耐摩耗部品（ブラストノズル、ショットブラスト用部品、釣具糸道）
特性
- 機械的特性
- 耐摩耗性、比剛性高
- 熱的特性
- 高温機械強度、高熱伝導性
- 科学的特性
- 耐食性