窒化アルミ(AlN)

特長

熱伝導率が高く、Siに近い熱膨張係数を持つので、パワー半導体の整流基盤としてよく利用されます。

用途例

  • 高温下で高い熱伝導が必要な部品
  • ヒーター部材
  • 放熱基盤
  • プラズマ雰囲気下の部品

特性

  • 熱的特性
    • 低熱膨張、高熱伝導、高耐熱衝撃性
  • 化学的特性
    • 良好な耐薬品性