アルミナ（Al2O3）

特長

最も広く利用されているセラミックスです。
硬度、剛性、耐摩耗性、耐プラズマ性、耐熱性、電気絶縁性が高く、熱膨張率が小さい。
液晶・有機EL・半導体製造装置、電池・電子関連、各種工作機械・精密機器など、あらゆる分野で採用されています。

用途例

  • 半導体製造装置部品
  • 粉砕機部品
  • 一般産業用部品
  • 高精度用、精密用、耐熱用治工具
  • 耐摩耗部品
  • 電気絶縁部品

特性

  • 機械的特性
    • 硬度、剛性、耐摩耗性
  • 熱的特性
    • 耐熱性、低熱膨張率
  • 電気的特性
    • 電気絶縁性
  • 科学的特性
    • 耐食性、耐プラズマ性